洗浄・乾燥

【主な種類】

治具洗浄装置（酸/有機溶剤対応）/レジスト剥離装置(酸/有機溶剤/モノエタノールアミン系溶剤対応）/リフトオフ洗浄装置/エッチング装置/現像装置/超音波洗浄装置など

レジスト剥離は、安心・安価・燃えない、モノエタノールアミン系溶剤をおススメしています！詳しくはこちらをどうぞ。

【動作仕様】

有機系剥離液によりレジスト除去→リンス→純水洗浄→スピン乾燥までの自動処理装置。

材質：SUS、PVC、PPにて製作可能
温調制御、自動薬液調合、ｐH調整機能、その他

【特徴】

各種マスクを自動搬送システムにて洗浄基盤１枚からカセット単位で手動・自動処理可能。

（1）熱硫酸槽：８０℃で温度調節された処理槽にてDIP処理
（2）DIP水洗槽１：オーバーフロー方式による水洗槽で1次洗浄
（3）DIP水洗槽２：オーバーフロー方式による水洗槽で最終洗浄
（4）スピン乾燥：処理を終えたホルダー、又はカセットごとにスピン乾燥

【特徴】

使用液：フッ酸・硝酸・過水等の溶液。　縦型洗浄装置も製作可能（ベルジャー等）自動薬液供給システムの取付も可能です。

【洗浄対象物】

・石英炉芯管　Φ130～Φ450　各種対応
・その他石英部品、石英治具

【動作仕様】

・ローダー、アンローダー共Ｗカセット仕様　・マスク、ウエハ対応可能、２液塗布可能
・ベーク炉内に残ったワークの自動回収機構　・直動サーボモーターによる高速スピン
・スピンエッチャー

【特徴】

用途、サイズなど、ご要望に応じて製作致します。お気軽にお問い合わせ下さいませ。

【特徴】

偏芯チャック機構（特許技術）で　①低コストでの制作が可能　
②裏面の洗浄が容易に行えます。
１枚からの処理が可能な簡易型です

【作動】

枚葉スプレーエッチング→２流体洗浄→乾燥

【特徴】

汚れたカップをスピーディに安全に洗浄できる装置です！環境に対する配慮や、使い易さを追求した、便利な自社開発製品です。
炭酸エチレンを使った洗浄で、環境にも、作業員にとっても安全です

【特徴】

透明なPVCの洗浄室に洗浄物をセットし、ノズルを位置決め・固定。洗浄物を左右に揺動することで速やかに洗浄が行えます。

【用途例】

ハンディタイプの洗浄機をお使いの方へ、スイッチ一つでタイマー洗浄できるこちらの装置をお勧めします。密閉構造なので、室内でもお使い頂けます。

【特徴】

表面張力と高熱で速乾させる方法で、壊れやすいワークや、溝の深いパターン・コンタクトホールなどもクリーンに、確実に乾燥できます！

アセトンやイソプロピルアルコールなどの薬品を使って洗浄・乾燥させているものから切り替えませんか？リフトドライなら、薬液、動力不要で安心・安全、パーティクルも出ません。

【特徴】

スライドで蓋が開閉するコンパクト設計なので、上部に大きなスペースを必要としません。めっき用ホルダー乾燥機としても納入実績があります。

【主な用途】

半導体ウエハや基盤等の乾燥にご利用いただけます。

【特徴】

メカチャック、または真空チャック。
回転数：～3,000rpm

基板の大きさに合わせて製作が可能です。

【主な用途】

セラミック基板・ガラス基板他。